在制造工艺上,团队利用原子层沉积技术,逐层在沟道区域沉积InGaOx薄膜,并通过加热处理使其形成有序的晶体结构,最终成功制备出的“全环绕栅极金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)”。测试表明,这种新型晶体管的电子迁移率达到44.5 cm²/Vs,并在持续近三小时的压力测试中保持稳定,性能优于以往同类器件。

这项研究为高密度、高可靠性的电子元件开发提供了新思路,尤其适用于大数据、人工智能等高算力需求的领域。未来,这种新型晶体管有望推动下一代电子技术的发展,深刻改变人们的生活。
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在制造工艺上,团队利用原子层沉积技术,逐层在沟道区域沉积InGaOx薄膜,并通过加热处理使其形成有序的晶体结构,最终成功制备出的“全环绕栅极金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)”。测试表明,这种新型晶体管的电子迁移率达到44.5 cm²/Vs,并在持续近三小时的压力测试中保持稳定,性能优于以往同类器件。

这项研究为高密度、高可靠性的电子元件开发提供了新思路,尤其适用于大数据、人工智能等高算力需求的领域。未来,这种新型晶体管有望推动下一代电子技术的发展,深刻改变人们的生活。